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Fertigung Von Mischlosen in Der Mikroelektronik Auf Der Basis Eines Verfahrens Zur Verfolgung Von Einzelscheiben (German, Paperback, 1997 ed.)
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Fertigung Von Mischlosen in Der Mikroelektronik Auf Der Basis Eines Verfahrens Zur Verfolgung Von Einzelscheiben (German, Paperback, 1997 ed.)
Series: IPA-Iao - Forschung Und Praxis, 255
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Die vorliegende Arbeit entstand wahrend meiner Tatigkeit als
wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer Institut
Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Zum Dank
fur den Ruckhalt wahrend des Entstehens der Arbeit widme ich das
Buch meiner Frau und meinen Kindem. Herro Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c.
E. Westkaemper und Herro Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. mult. H.-J.
Warnecke danke ich fur die wohlwollende Unterstiitzung und
Forderung meiner Arbeit. Mein Dank gilt auch in gleicher Weise
Prof. Dr. rer. nat. B. Hofflinger fUr die Durchsicht der Arbeit und
die Ubernahme des Mitberichts. Ich danke allen Kolleginnen und
Kollegen fiir die Unterstutzung und konstruktive Kritik wahrend der
Entstehung meiner Arbeit. Mein Dank gilt dabei insbesondere Herro
Dr.-Ing. Bernhard Klumpp, Herrn Dr.-Ing. M. Schweizer und Herro
Prof. Dr.-Ing. Dr. h. c. R. D. Schraft. Einen besonderen Dank
mochte ich Herrn Dipl.-Ing. W. Schafer und Herrn Dipl.-Ing. J.
SchlieBer vom IPA sowie Herro Dipl.-Ing. P. Staudt-Fischbach von
der TEMIC Semiconductor Itzehoe GmbH fUr die ausdauernde
Diskussionsbereitschaft wahrend der Entstehung dieses Werkes
aussprechen.
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