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1. 1. Prinzipielle Wirkungsweise und Betriebsarten eines
Raster-Elektron- mikroskopes (SEM) . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . 1 . . 1. 2. Vergleich des Raster-Elektronenmikroskopes mit
dem Lichtmikroskop und Transmissions-Elektronenmikroskop . . . . .
. . . . . . . . 3 1. 3. Vergleich des Raster-Elektronenmikroskopes
mit anderen Elektron- strahlgeraten . . . . . . . . . . . . . . 9
Literatur zu 1 . . . . . . . . . . . . . . . 14 Monographien,
Tagungsbande und Bibliographien 14 2. Wechselwirkung
Elektron-Materie 2. 1. Einleitung 16 2. 2. Elektronenstreuung am
Einzelatom 17 2. 2. 1. Elastische Streuung . . . . 17 2. 2. 2.
Unelastische Streuung 18 2. 3. Streuung in einer durchstrahlbaren
Schicht 21 2. 3. 1. Winkelverteilung gestreuter Elektronen 21 2. 3.
2. Transmission als Funktion der Beobachtungsapertur 23 2. 3. 3.
Ortsverteilung gestreuter Elektronen . 24 2. 3. 4.
Energieverteilung gestreuter Elektronen 25 2. 4.
Elektronendiffusion in kompaktem Material 28 2. 4. 1. Transmission
und Reichweite 28 2. 4. 2. Ausdehnung der Diffusionswolke . . 31 2.
4. 3. Ionisationsdichte und Tiefendosiskurve 33 2. 5. Ruckstreuung
und Sekundarelektronen-Emission 34 2. 5. 1. Definition und Messung
dieser GraBen . . 34 2. 5. 2. Ruckstreukoeffizient einer dunnen
Schicht, Austrittstiefe 36 2. 5. 3. Ruckstreukoeffizient von
kompaktem Material . . . . 37 2. 5. 4. Richtungs-und
Energieverteilung ruckgestreuter Elektronen 40 2. 5. 5. Ausbeute,
Energie und Austrittstiefe der Sekundarelektronen 41 2. 5. 6.
Beitrag der ruckgestreuten Elektronen zur Sekundarelektron-
ausbeute . . . . . . . . . . . . . . . 45 2. 5. 7. Rauschen der
Sekundarelektronenemission . . . . . . . . . 45 VIII Inhalt 2. 6.
Ausbreitung der Elektronen in Kristallen . . . . 47 2. 6. 1. Das
Elektronenwellenfeld in einem Kristall 47 2. 6. 2. Beugung in
Transmission . . . . . . . . 51 2. 6. 3. EinfluB der Beugung auf
die Riickstreuung . 54 Literatur zu 2 . . . . . . . . . . . . . . .
. . 56 3."
A little witch girl gets kicked out of her village because she's
different. She then runs off into a swamp where she finds more
witches who take her in. Here she is very happy. Across the swamp,
an evil witch is jealous of this young witch's growing powers and
comes to destroy her. Her guardians send her away to safety while
they try to deal with this nasty witch. The girl then tries to find
her family and enlists the help of a most unusual character. Will
she ever find her happy ending?
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