An Advanced Study Institute on process and device modeling for integrated circuit design was held in Louvain-la-Neuve. Belgium on July 19-29. 1977 under the auspices of the Scientific Affairs Division of NATO. The Institute was organized by a scientific organizing committee consisting of Professor F. Van de Wiele of the Universite Catholique de Louvain. Professor W. L. Engl of the Technische Hochschule Aachen and Professor P. Jespers of the Universite Catholique de Louvain. This book represents the contributions of the lecturers at the Institute and the chapters present a concise treatment of a very timely subject. namely. process and device modeling for integrated circuit design. The organization of the book parallels the program at the Institute with an introd0ction .comprised of a review of mo deling and basic semiconductor physics. This is followed by the chapters devoted to basic technologies. modeling of bipolar and MoS devices. The last chapter of the book presents the specific topic of process modeling. The subject matter of this book is suitable for a wide range of interests from the advanced student. through the practisihg physicist and engineer. to the research worker. Although a novice may find some difficulty with the mathematical development. he can acquire a perspective into the field of process and device modeling for integrated circuit design with this bDOk. Likewise. portions of this book may be used as a textbook since the chap ters are intructional and self-contained."

form tiber einem gegebenen Vektorraum. Die Dualitat erlaubt, die metrische Bilinear- form (das Skalarprodukt) durch die kanonische Bilinearform zu ersetzen. Uber die auBere Algebra der mit dem Tang ntenraum in einem Punkt assoziierten Multilinear- formen gelangt man zu den von Cartan eingeftihrten auBeren Differentialformen. Dif- ferentialformen sind Objekte, die ohne Bezugnahme auf geometrische Strukturen tiber Kurven, Flachen etc. integriert werden konnen. E s ist deshalb naheliegend, die elek- tromagnetischen FeldgroBen als Differentialformen aufzufassen. Dabei ist es zweck- maBig, . sich an die von Mie eingeftihrte Unterscheidung von Intensitats-und Quantitats- groBen zu erinnern. Differentialformen im eigentlichen Sinn sind nur die Intensitats- groBen, also das elektrische Feld und das Feld der"magnetischen Induktion. Die elek- trische Verschiebungsdichte und die magnetische Feldstarke sind in dem von de Rham eingeftihrten Sinn Stromformen, d. h. Differentialformen, deren Koeffizienten Distri- butionen sind. Letztere lassen sich jedoch durch ungerade Differentialformen mit pseu- doskalaren Koeffizienten darstellen. Die Maxwellschen Gleichungen erscheinen bei dieser Betrachtung als Beziehungen zwi- schen Differentialformen, die keine geometrischen Strukturen mehr enthalten. Die geo- metrischen Eigenschaften des Raumes gehen in die Materialgleichungen des Vakuums ein, die die . IntensitatsgroBen mit den QuantitatsgroBen verbinden. Die Zuordnung ge- schieht mit Hilfe des sogenannten *-Operators (Hodge-Dualitat), der ungerade (3-n)- Formen auf gerade n-Formen abbildet und umgekehrt. Die Euklidische Metrik ordnet den FeldgroBen nattirliche Langendimensionen zu, so daB die Dimensionen der Koeffi- zienten durch Ladung, Wirkung und Geschwindigkeit ausgedrtickt werden konnen, deren nattirliche Einheiten durch Naturkonstanten fixiert werden.