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Halbleitertechnologie (German, Paperback, 2nd 2., Uberarb. Aufl. 1981 ed.)
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Halbleitertechnologie (German, Paperback, 2nd 2., Uberarb. Aufl. 1981 ed.)
Series: Teubner Studienskripte Technik
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Das vorliegende Studienskriptum "Halbleitertechnologie" sol1 das
physika lische, chemische und technische RUstzeug vermitteln, das
bei der Her stellung diskreter und integrierter
Halbleiterbauelemente notwendig ist. Das Buch ist aus den
Unterlagen zu einer einsemestrigen Vorlesung glei chen Titels
entstanden, die fUr Studierende der Elektrotechnik im 6. Se mester,
insbesondere der Hochfrequenztechnik, der Elektronik und der
Elektrophysik, an der Technischen Universitat Braunschweig gehalten
wird. Zum Verstandnis dieses Skriptums wird yom Leser nur die
Kenntnis der ele mentaren Grundlagen der Halbleiterphysik und der
Werkstoffkunde vorausge setzt. Somit konnen alle Studierenden der
Elektrotechnik und Physik den Inhalt des Buches auch im
Selbststudiurn verstehen. Ausgehend von der Darstellung und
Reinigung der Halbleiterausgangsrnateri alien und den Methoden der
Einkristallherstellung wird insbesondere den verschiedenen fUr die
Bauelementherstellung wichtigen Prozessen, wie bei spielsweise
Diffusion, Epitaxie, Oberflachenbehandlung und -passivierung, ein
breiterer Raurn egeben. Anhand von ausgewahlten
Fertigungsbeispielen wird schlieBlich das Zusammenwirken der
verschiedenen Verfahrenstechniken bis zurn fertigen Bauelernent
erlautert. Urn den Rahmen des Studienskripturns und der Vorlesung
nicht zu sprengen, wurde auf tiefergreifende BezUge der
Halbleitertechnologie zur Fest korperphysik verzichtet.
(WeiterfUhrende BUcher sind in der Einleitung angegeben.)
Besonderer Wert wurde auf eine praxisbezogene Darstellung gelegt.
Das Studienskripturn enthalt deshalb detail1ierte Angaben bezUglich
bewahrter Halbleiter-Praparationsrnethoden sowie zahlreiche Kurven
und Tabellen. 6 An der Vorbereitung der diesem Skriptum zugrunde
liegenden Vorlesung haben die Herren Dipl.-Phys. U. GUnther und
Dipl.-Ing. J. Freyer mitge wirkt. Die kritische Durchsicht des
Manuskriptes besorgten die Herren Dipl.-Ing. J. Freyer. Dipl.-Phys.
D. Ullrich und cand.-phys. H. Probst."
General
Imprint: |
Vieweg+teubner Verlag
|
Country of origin: |
Germany |
Series: |
Teubner Studienskripte Technik |
Release date: |
1981 |
First published: |
1981 |
Contributors: |
J Freyer
|
Authors: |
Wolfgang Harth
|
Dimensions: |
203 x 127 x 8mm (L x W x T) |
Format: |
Paperback - Trade
|
Pages: |
135 |
Edition: |
2nd 2., Uberarb. Aufl. 1981 ed. |
ISBN-13: |
978-3-519-10054-6 |
Languages: |
German
|
Subtitles: |
German
|
Categories: |
Books >
Professional & Technical >
Technology: general issues >
Engineering: general
|
LSN: |
3-519-10054-1 |
Barcode: |
9783519100546 |
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