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Simulation und Herstellung siliziumbasierter integriert-optischer Sternkoppler (German, Paperback)
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Simulation und Herstellung siliziumbasierter integriert-optischer Sternkoppler (German, Paperback)
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Diplomarbeit aus dem Jahr 1996 im Fachbereich
Ingenieurwissenschaften - Nachrichtentechnik /
Kommunikationstechnik, Note: 1,0, Technische Universitat Dortmund
(Unbekannt), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe: Einleitung:
Die optische Nachrichtentechnik gewinnt in der Telekommunikation
mit dem wachsenden Bedarf an hohen Ubertragungsraten und der
Globalisierung der Informationsverarbeitung an Bedeutung. Die
Bauteile der integrierten Optik sind aufgrund ihrer
Anwendungsmoglichkeiten innerhalb der optischen Nachrichtentechnik
von grossem Interesse, da bei Verteilungs- und Schaltfunktionen auf
die Umwandlung in elektrische Signale verzichtet werden kann. Das
im Rahmen dieser Diplomarbeit betrachtete Bauteil, der passive
optische Sternkoppler, findet vorwiegend in lokalen Netzen seine
Anwendung. Die hierbei verwendbaren Materialien mussen
gewahrleisten, dass die Lichtwellenleiter geringe
Ubertragungsverluste durch Dampfung und Dispersion besitzen und
reproduzierbar herzustellen sind. Die Moglichkeit der Kopplung an
andere optische Komponenten wie Glasfasern, Lichtquellen und
Photodetektoren ist ebenso wichtig. Diese Forderungen erfullen
verschiedene Substratmaterialien wie z. B. Glas, Polymere und nicht
zuletzt Silizium. Die Herstellung des Sternkopplers auf
Siliziumsubstrat hat verschiedene Vorteile. Standardsiliziumwafer
besitzen eine qualitativ hochwertige Oberflache und sind deshalb
ein geeignetes Substrat fur optische Wellenleiter. Die
Siliziumtechnologie ist gut erforscht und zur Abscheidung und
Strukturierung der Lichtwellenleiterschichten kann auf Verfahren
der Halbleitertechnologie zuruckgegriffen werden. Ein weiterer
Vorteil ist das einfach herzustellende, arteigene Oxid des
Siliziums mit guten optischen Eigenschaften. Aufgrund des grossen
finanziellen und zeitlichen Aufwandes ist es sinnvoll, vor der
technologischen Realisierung eine simulatorische Opitimierung
durchzufuhren. Aus diesem Grund teilt sich diese Diplomarbeit zu
etwa gleichen Teilen in einen
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