Polysilizium-Heaterstrukturen fur den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlassigkeitstests auf Waferebene (German, Paperback)

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage fur hochbeschleunigte Zuverlassigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einfuhrung in die Zuverlassigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlassigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwandig und verlangen daher nach einer alternativen Warmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Warmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mogliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.

General

Imprint:	Grin Verlag
Country of origin:	United States
Release date:	September 2012
First published:	August 2013
Authors:	David Weinberger
Dimensions:	210 x 148 x 5mm (L x W x T)
Format:	Paperback - Trade
Pages:	78
ISBN-13:	978-3-656-27670-8
Languages:	German
Categories:	Books > Professional & Technical > Energy technology & engineering > Electrical engineering > Electrician skills Promotions
LSN:	3-656-27670-6
Barcode:	9783656276708

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