ProzeAtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunAchst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, StrukturA1/4bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im AnschluA daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem GesamtprozeA fA1/4r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

Es gab wohl noch nie ein Jahrhundert, das so gewaltige Ver anderungen in allen Fachern der Medizin, vornehmlich der Geburts hilfe und Gynakologie, gebracht hatte, wie das N eunzehnte, und zwar dank den gewaltigen Fortschritten der Anatomie, der patho logischen Anatomie, der Physiologie und der Chemie: So ist es kein Wunder, daB die junge Generation des 20. Jahrhunderts mit viel umfassenderen Kenntnissen ausgerustet an ihr Fachstudium herantreten konnte, als ihre Vorganger. Infolge der fabelhaften, auf klarenden Entwicklung, welche die N aturwissenschaften genommen hatten, wandte sich die junge Medizinerwelt von der Schellingschen N aturphilosophie ab und den rein naturwissenschaftlichen Fachern zu, auf welchen nunmehr die Medizin aufgebaut werden sollte. Johannes Muller und Justus von Liebig waren die ausgezeich neten Manner, deren Lehren die Grundlage der neuen Richtung bildeten. Vielfach wurde das Fach der Geburtshilfe von der Chirurgie, aus welcher sie hervorging, erst losgetrennt, um sich dann langsam zu einer selbstandigen Disziplin weiter zu entwickeln. Erst in den sechziger Jahren vollzog sich die vollstandige Trennung beider Facher, und erst Ende des 19. Jahrhunderts gab es uberall an allen Universitaten selbstandige Kliniken der Geburtshilfe."