Prozesstechnologie - Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen (German, Paperback, Softcover Reprint of the Original 1st 1991 ed.)

ProzeAtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunAchst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, StrukturA1/4bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im AnschluA daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem GesamtprozeA fA1/4r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

General

Imprint:	Springer-Verlag
Country of origin:	Germany
Series:	Mikroelektronik
Release date:	March 1991
First published:	March 1991
Authors:	Gunter Schumicki
Contributors:	N Bundgens
Authors:	Peter Seegebrecht
Contributors:	T Evelbauer • H. Fehling • J -H Fock • J. Frick • R Schneider • B Strycharczyk • F. Zimmermann
Dimensions:	244 x 170 x 27mm (L x W x T)
Format:	Paperback - Trade
Pages:	500
Edition:	Softcover Reprint of the Original 1st 1991 ed.
ISBN-13:	978-3-540-17670-1
Languages:	German
Categories:	Books > Professional & Technical > Electronics & communications engineering > Electronics engineering > Electronic devices & materials > General
LSN:	3-540-17670-5
Barcode:	9783540176701

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