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Prozesstechnologie - Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen (German, Paperback, Softcover Reprint of the Original 1st 1991 ed.)
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Prozesstechnologie - Fertigungsverfahren Fur Integrierte Mos-Schaltungen (German, Paperback, Softcover Reprint of the Original 1st 1991 ed.)
Series: Mikroelektronik
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ProzeAtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter
Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunAchst die
Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung,
StrukturA1/4bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation
zugerechnet werden. Im AnschluA daran wird gezeigt, wie
Einzelprozesse zu einem GesamtprozeA fA1/4r die Herstellung von
CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der
Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen.
Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz
fertigungsorientierter Technologen.
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