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Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen
Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis
zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich
damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und
Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die
gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten
Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder:
Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle,
modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und
Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte
Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Atztechnik und
Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst
aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus
erster Hand."
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen
Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis
zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich
damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und
Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die
gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten
Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder:
Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle,
modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und
Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte
Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Atztechnik und
Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst
aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus
erster Hand.
Aus den Besprechungen: "Der Autor wendet sich mit diesem Buch an
Leser, die Halbleiterkomponenten herstellen wollen. Er versucht
einen Mittelweg zu nehmen, indem er sich auf grundlegende Theorien
abstutzt, aber auch technologische Prozesse beschreibt. Auch
Schwierigkeiten, die entstehen, wenn neu entwickelte Technologien
in die Produktion ubergefuhrt werden mussen, verschweigt er nicht.
..." #"PTT " "Bulletin technique/Technische Mitteilungen"# ..". Dem
Autor dieses Buches ist es gelungen, sowohl die grundlegenden
Theorien als auch die technologischen Prozesse und Verfahren in
einer lebendigen und eindrucksvollen Art zu behandeln. Das Buch
wird viele Freunde finden." #"Elin-Zeitschrift"# "Das Buch
schliesst eine Lucke in der deutschsprachigen Literatur, die von
Lehrenden und Lernenden und sicher auch von Praktikern stark
empfunden wurde. Der Versuch des Verfassers, sich bei der
Beschreibung der technologischen Prozesse nicht in Einzelheiten zu
verlieren, vielmehr das Grundsatzliche herauszustellen und auch
theoretisch abzustutzen, darf als gegluckt bezeichnet werden..."
#"AEU " "Archiv fur Elektronik und Ubertragungstechnik"#"
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