Technologie Hochintegrierter Schaltungen (German, Hardcover, 2nd 2. Aufl. 1996 ed.)

Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle, modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Atztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand."

General

Imprint:	Springer-Verlag
Country of origin:	Germany
Series:	Halbleiter-Elektronik, 19
Release date:	May 1996
First published:	May 1996
Authors:	Dietrich Widmann • Hermann Mader • Hans Friedrich
Dimensions:	234 x 156 x 22mm (L x W x T)
Format:	Hardcover
Pages:	366
Edition:	2nd 2. Aufl. 1996 ed.
ISBN-13:	978-3-540-59357-7
Languages:	German
Categories:	Books > Social sciences > Education > General Books > Professional & Technical > Technology: general issues > Nanotechnology Books > Professional & Technical > Mechanical engineering & materials > Materials science > General Books > Professional & Technical > Energy technology & engineering > Electrical engineering > General Books > Professional & Technical > Electronics & communications engineering > Electronics engineering > Applied optics > General
LSN:	3-540-59357-8
Barcode:	9783540593577

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