ProzeAtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunAchst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, StrukturA1/4bertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im AnschluA daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem GesamtprozeA fA1/4r die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.