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Oberflachenanalyse von Si/SiGe-Schichten (German, Paperback)
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Oberflachenanalyse von Si/SiGe-Schichten (German, Paperback)
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Diplomarbeit aus dem Jahr 1998 im Fachbereich Physik - Technische
Physik, Johannes Kepler Universitat Linz
(Technisch-Naturwissenschaftliche Fakultat, Halbleiter- und
Festkorperphysik), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:
Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess
entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si/SiGe
Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert auf
eine Einfuhrung in die Untersuchungsmethoden der
Oberflachenmorphologie von Nanostrukturen, mittels Atomkraft-,
Rastertunnel-, und Polarisationsmikroskop, gelegt. Diese Arbeit
soll fur Interessierte einen erleichterten Einstieg in die
Nanostrukturierung, der Methodik und der Terminologie diese
Gebietes bringen, um im Anschluss ohne Probleme weiterfuhrende
Literatur studieren zu konnen. Es wird auch speziell auf die Physik
von Versetzungen in Festkorpern eingegangen und deren Arten der
Sichtbarmachung, dabei werden auch die Grundprinzipien der Chemie
von Atzverfahren fur Halbleiter besprochen. Es wurden dabei zwei
Verfahren zur Sichtbarmachung von Versetzungen untersucht. Im
direkten Verfahren wurden die Proben, welche in der MBE-Anlage in
Linz gewachsen wurden, direkt nach dem Wachstum unter das
Atomkraftmikroskop gelegt. Dies sollte verhindern, dass sich
storende Oxidschichten an der Oberflache bilden und das Scannen der
Oberflache erschweren. Hierbei wurde auch der Einfluss eines
Reinigungsschrittes, der aus H2SO4, HF und Methanol besteht, auf
die Qualitat der Scans untersucht. Es wurde versucht, direkt
Versetzungsspiralen sichtbar zu machen. Dies erwies sich aus
verschiedenen Grunden als eine sehr schwierige Aufgabe, und es
gelang nur, laterale mono- und doppelatomare Stufen aufzulosen. Als
indirektes Verfahren wurde ein Versetzungsatzprozess auf der Basis
von Cr(VI)O3 entwickelt. Diese Losung atzt selektiv die
Probenoberflache an den Stellen schneller an, an denen
Fadenversetzungen die Oberflache durchstossen. Die
Fadenversetzungsdichte kann hier mit
General
Imprint: |
Diplom.de
|
Country of origin: |
United States |
Release date: |
March 2002 |
First published: |
March 2002 |
Authors: |
Harald Sander
|
Dimensions: |
210 x 148 x 6mm (L x W x T) |
Format: |
Paperback - Trade
|
Pages: |
96 |
ISBN-13: |
978-3-8386-5112-5 |
Languages: |
German
|
Categories: |
Books >
Science & Mathematics >
Physics >
General
|
LSN: |
3-8386-5112-X |
Barcode: |
9783838651125 |
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