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Makromodellierung parasitarer Substrateffekte von Bipolartransistoren einer BiCMOS-Technologie (German, Paperback)
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Makromodellierung parasitarer Substrateffekte von Bipolartransistoren einer BiCMOS-Technologie (German, Paperback)
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Diplomarbeit aus dem Jahr 1996 im Fachbereich Elektrotechnik, Note:
1,3, Technische Universitat Darmstadt (Unbekannt), Sprache:
Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe: Einleitung: Die vorliegende
Arbeit behandelt die Modellierung und die Erklarung parasitarer
Substrateffekte, wie sie bei lateralen Transistorstrukturen
auftreten. Der Modellierung von lateralen Transistoren wurde schon
einmal Ende der 60er Jahre grosse Beachtung zuteil. Einhergehend
mit den Bestrebungen hin zu immer kleineren Strukturen und
einfachen Technologien wurden zahlreiche Untersuchungen zu diesem
Thema vorgenommen. Die Abhandlungen zu dieser Zeit beschaftigen
sich denn auch meist mit prinzipiellen Beschreibungen der
Funktionsweise der Lateralstrukturen im Hinblick auf Verbesserungen
in ihrer Effektivitat. Mit dem Aufkommen der MOS sank auch das
Interesse an Bipolartechnologien und damit auch an der Modellierung
von lateralen pnp-Transistoren. Nachdem gerade in neuester Zeit
neue Kombinationstechnologien entwickelt werden, in denen Analog-
und Digitalfunktionen auf einem Chip realisiert werden sollen, den
sogenannten BiCMOS-Technologien, kommen auch vermehrt wieder
laterale Transistoren zum Einsatz. Ein Grund dafur ist, dass man
bei der Integration von Bipolartransistoren in einer
BiCMOS-Kombinationstechnologie aus Grunden der vereinfachten
Prozessfuhrung gezwungen ist, die Strukturen der Transistoren
gegenuber Standard-Bipolartechnologien zu modifizieren. Neben
veranderten Dotierungskonzentrationen, Eindringtiefen oder
Abschirmungsmassnahmen ergeben sich vor allem im strukturellen
Aufbau der Transistoren Veranderungen. Im Bipolarteil solcher
BiCMOS-Prozesse werden deshalb die pnp-Transistoren meist in
lateraler Form ausgefuhrt. Daruber hinaus findet eine Optimierung
des Prozesses im Hinblick auf die npn-Transistoren statt, da mit
ihnen naturgemass effektivere Bauteile hergestellt werden konnen.
Ein grosses Problem bei lateralen Transistoren ist zum einen das
nicht mehr spezifische Transistorverhalt
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