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Mikromechanik - Einfuhrung in Technologie und Anwendungen (German, Paperback, 1991 ed.)
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Mikromechanik - Einfuhrung in Technologie und Anwendungen (German, Paperback, 1991 ed.)
Series: Angewandte Physik
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Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung
von dreidimen- sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit
Abmessungen im Mikrometerbe- reich befasst, hat in den vergangenen
Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle
zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali-
tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen
Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der
Feinwerktechnik nutzt die Mikro- mechanik den Technologievorrat der
Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch- gen auen
Strukturubertragung mittels lithographischer Verfahren und das
Konzept der kostengunstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die
Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der
Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete be- trachtet
werden. Die gemeinsame technologische Basis von Mikromechanik und
Mikro- elektronik bietet gunstige Voraussetzungen fur die
Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen
zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch anstei- gende Zahl
von Publikationen zu diesem Thema zeigt die grosse Bedeutung, die
dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird.
Mikromechanische Bauelemente koennen durchaus in mittelstandischen
Betrieben ent- wickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch,
dass diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen
breiten UEberblick uber die Moeglichkeiten der Mikromecha- nik
besitzen. Das vorliegende Buch moechte deshalb Studierenden,
Anwendern in For- schung und Entwicklung sowie technisch
interessierten Lesern eine Einfuhrung in die technologischen
Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus
einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universitat
Stuttgart fur Stu- denten der Fakultat Konstruktions-und
Fertigungstechnik halte.
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