This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle. The travel of the investigated actuator systems is on the order of several millimeters. The total construction size of the actuator is on the range of several centimeters whereas essential structures being several micrometers. The methods and the production technologies that are investigated on the basis of various research models incorporate the fundamental process chains of microsystems.

This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle. The travel of the investigated actuator systems is on the order of several millimeters. The total construction size of the actuator is on the range of several centimeters whereas essential structures being several micrometers. The methods and the production technologies that are investigated on the basis of various research models incorporate the fundamental process chains of microsystems.

Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen- sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe- reich befasst, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali- tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro- mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch- genauen Strukturubertragung mittels lithographischer Verfahren und das Konzept der kostengunstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete be- trachtet werden. Die gemeinsame technologische Basis von Mikromechanik und Mikro- elektronik bietet gunstige Voraussetzungen fur die Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch anstei- gende Zahl von Publikationen zu diesem Thema zeigt die grosse Bedeutung, die dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird. Mikromechanische Bauelemente koennen durchaus in mittelstandischen Betrieben ent- wickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch, dass diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen breiten UEberblick uber die Moeglichkeiten der Mikromecha- nik besitzen. Das vorliegende Buch moechte deshalb Studierenden, Anwendern in For- schung und Entwicklung sowie technisch interessierten Lesern eine Einfuhrung in die technologischen Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universitat Stuttgart fur Stu- denten der Fakultat Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.

Die Mikromechanik, die sich mit Entwurf, Herstellung und Anwendung von dreidimen- sionalen mechanischen Strukturen und Systemen mit Abmessungen im Mikrometerbe- reich befasst, hat in den vergangenen Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen und steht an der Schwelle zur breiten industriellen Anwendung. Ihr Einsatz fuhrt zu Quali- tats-und Leistungssteigerungen in vielen Bereichen der modernen Technik. An Stelle der konventionellen Fertigungsverfahren der Feinwerktechnik nutzt die Mikro- mechanik den Technologievorrat der Mikroelektronik, vor allem das Konzept der hoch- gen auen Strukturubertragung mittels lithographischer Verfahren und das Konzept der kostengunstigen Fertigung in Batch-Prozessen. Die Mikromechanik kann daher als konsequente Weiterentwicklung der Mikroelektronik auf nicht-elektronische Gebiete be- trachtet werden. Die gemeinsame technologische Basis von Mikromechanik und Mikro- elektronik bietet gunstige Voraussetzungen fur die Integration mechanischer, optischer und elektronischer Funktionen zu komplexen Mikrosystemen. Die zur Zeit rasch anstei- gende Zahl von Publikationen zu diesem Thema zeigt die grosse Bedeutung, die dieser Entwicklung von Wissenschaft und Industrie beigemessen wird. Mikromechanische Bauelemente koennen durchaus in mittelstandischen Betrieben ent- wickelt und gefertigt werden. Wichtig ist jedoch, dass diese Betriebe Ingenieure als Mitarbeiter finden, die einen breiten UEberblick uber die Moeglichkeiten der Mikromecha- nik besitzen. Das vorliegende Buch moechte deshalb Studierenden, Anwendern in For- schung und Entwicklung sowie technisch interessierten Lesern eine Einfuhrung in die technologischen Grundlagen und die Anwendungen der Mikromechanik geben. Es ist aus einer Vorlesung entstanden, die ich seit 1986 an der Universitat Stuttgart fur Stu- denten der Fakultat Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.