This work covers the latest state-of-the-art research results from leading European researchers in advanced micro technologies for batch processing of metals, polymers, and ceramics, and the development of new production platforms for micro systems-based products.
These contributions are from leading authors at a platform endorsed and funded by the European Union R&D community, as well as leading universities, and independent research and corporate organizations. This comprehensive collection of indexed and peer reviewed articles contains a CD with search functionality.
* Contains authoritative papers that reflect the latest developments in micro technologies and micro systems-based products
* Includes a user-friendly CD Rom with search functionality

In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems. Section two covers the areas of photolithographic microfabrication, basic concepts of planar processing, materials, and processes. Section three looks at micromachining by machine tools, its history, basic principles and preparation methods. Section four discusses tribological aspects of microsystems. Section five covers fabrication, performance and examples of silicon microsensors. Section six looks at electric and magnetic micro-actuators for micro-robots. Section seven covers energy source and power supply methods. Section eight covers controlling principles and methods of micro mechanical systems and section nine gives examples of microsystems and micromachines. The final section discusses the future problems and outlook of micro mechanical systems.

"Wenn der Kapitalismus regelmassigen Untergangsprophezeiungen zum Trotz nicht nur uberlebt, sondern seinen Einflussbereich unablassig ausgedehnt hat, so liegt das eben auch d- an, dass er sich auf eine Reihe von handlungsanleitenden Vorstellungen und gangigen Rechtfertigungsmodellen stutzen konnte, durch die er als eine annehmbare oder sogar wunschenswerte, allein moegliche bzw. als beste aller moeglichen Ordnungen erschien. " (Boltanski/Chiapello 2001, S. 46) "UEberall wo ein Unternehmen gegrundet wird, befehlen wenige und gehorchen viele. Diese wenigen jedoch haben sich sehr selten damit begnugt, ohne hoehere Rechtfertigungen zu he- schen, auch wenn sie allem Glauben an Ideen abgeschworen hatten, und die vielen waren selten fugsam genug, um nicht solche Rechtfertigungen notwendig zu machen. " (Bendix 1960, S. 19) Aktuelle Gesellschaften befinden sich in standiger Sorge um Leistung, glaubt man den immer wiederkehrenden oeffentlichen Diskussionen. Vor dreissig Jahren manifestierte sich diese Sorge in der Diagnose eines allgemeinen Verfalls burgerlicher Leistungsideale. "Es besteht kein Zweifel daruber", so der Politikwissenschaftler Kurt Sontheimer im Jahr 1977, "dass die gangige Infragestellung des Leistungsprinzips und des Leistungsstrebens, die sich heute bei konservativen Theologen ebenso findet wie bei linken Systemkritikern, ein A- druck allgemeiner Erschutterung tragender Werte unserer burgerlichen Zivilisation ist, die sich bei unserer Intelligenz vor allem in den 10-12 Jahren seit der Studentenrevolte rapide beschleunigt hat" (Sontheimer 1977, S. 16). Von kritischer Seite wurde dagegen begrusst, dass sich das Leistungsprinzip mittlerweile ganz offen als ideologisch offenbart habe.