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This resulting volume details the state-of-the-art regarding
numerous aspects of advanced micro technologies with respect to a
wide range of materials, and the development of new production
platforms for micro systems-based products. The contributions from
leading authors from universities, independent research and
corporate organizations provide an invaluable overview of this
rapidly moving subject and an insight into key research and
development areas. This comprehensive collection of indexed and
peer-reviewed articles is also contained on a CD with search
functionality.
Die eminente Bedeutung von ExpertInneninterviews fur die
Forschungspraxis ist unumstritten. Sie gehoren in vielen
sozialwissenschaftlichen Disziplinen zur alltaglichen
Forschungspraxis; sei es als eigenstandige Erhebungsmethode, sei es
als exploratives oder erganzendes Instrument im Kontext
quantitativer oder qualitativer Forschungsdesigns. Auf der anderen
Seite sind ExpertInneninterviews trotz (oder wegen?) ihrer
Praxisrelevanz methodisch wenig reflektiert. Dieses Defizit will
der vorliegende Band beheben und eine ubersichtliche, fundierte und
an forschungspraktischen Problemen orientierte Einfuhrung in
Theorie und Praxis der ExpertInneninterviews bieten. Neben der
Diskussion des methodologischen Hintergrunds und zentraler
wissenssoziologischer Basisannahmen (ExpertInnenbegriff,
Wissensformen) steht dabei insbesondere die Vorbereitung,
Durchfuhrung und Auswertung von ExpertInneninterviews im
Mittelpunkt."
This work covers the latest state-of-the-art research results from
leading European researchers in advanced micro technologies for
batch processing of metals, polymers, and ceramics, and the
development of new production platforms for micro systems-based
products.
These contributions are from leading authors at a platform endorsed
and funded by the European Union R&D community, as well as
leading universities, and independent research and corporate
organizations. This comprehensive collection of indexed and peer
reviewed articles contains a CD with search functionality.
* Contains authoritative papers that reflect the latest
developments in micro technologies and micro systems-based
products
* Includes a user-friendly CD Rom with search functionality
In ten sections this book describes the principles and technology
of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction
to the historical background and the parallels to microelectronics,
reviewing the motivation for microsystems, and discussing
microphysics and design and the evolution from microcomponents to
microsystems. Section two covers the areas of photolithographic
microfabrication, basic concepts of planar processing, materials,
and processes. Section three looks at micromachining by machine
tools, its history, basic principles and preparation methods.
Section four discusses tribological aspects of microsystems.
Section five covers fabrication, performance and examples of
silicon microsensors. Section six looks at electric and magnetic
micro-actuators for micro-robots. Section seven covers energy
source and power supply methods. Section eight covers controlling
principles and methods of micro mechanical systems and section nine
gives examples of microsystems and micromachines. The final section
discusses the future problems and outlook of micro mechanical
systems.
"Wenn der Kapitalismus regelmassigen Untergangsprophezeiungen zum
Trotz nicht nur uberlebt, sondern seinen Einflussbereich unablassig
ausgedehnt hat, so liegt das eben auch d- an, dass er sich auf eine
Reihe von handlungsanleitenden Vorstellungen und gangigen
Rechtfertigungsmodellen stutzen konnte, durch die er als eine
annehmbare oder sogar wunschenswerte, allein moegliche bzw. als
beste aller moeglichen Ordnungen erschien. " (Boltanski/Chiapello
2001, S. 46) "UEberall wo ein Unternehmen gegrundet wird, befehlen
wenige und gehorchen viele. Diese wenigen jedoch haben sich sehr
selten damit begnugt, ohne hoehere Rechtfertigungen zu he- schen,
auch wenn sie allem Glauben an Ideen abgeschworen hatten, und die
vielen waren selten fugsam genug, um nicht solche Rechtfertigungen
notwendig zu machen. " (Bendix 1960, S. 19) Aktuelle Gesellschaften
befinden sich in standiger Sorge um Leistung, glaubt man den immer
wiederkehrenden oeffentlichen Diskussionen. Vor dreissig Jahren
manifestierte sich diese Sorge in der Diagnose eines allgemeinen
Verfalls burgerlicher Leistungsideale. "Es besteht kein Zweifel
daruber", so der Politikwissenschaftler Kurt Sontheimer im Jahr
1977, "dass die gangige Infragestellung des Leistungsprinzips und
des Leistungsstrebens, die sich heute bei konservativen Theologen
ebenso findet wie bei linken Systemkritikern, ein A- druck
allgemeiner Erschutterung tragender Werte unserer burgerlichen
Zivilisation ist, die sich bei unserer Intelligenz vor allem in den
10-12 Jahren seit der Studentenrevolte rapide beschleunigt hat"
(Sontheimer 1977, S. 16). Von kritischer Seite wurde dagegen
begrusst, dass sich das Leistungsprinzip mittlerweile ganz offen
als ideologisch offenbart habe.
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