In this work, the reliability of HfO2 (hafnium oxide) with poly gate and dual metal gate electrode (Ru-Ta alloy, Ru) was investigated. Hard breakdown and soft breakdown, particularly the Weibull slopes, were studied under constant voltage stress. Dynamic stressing has also been used. It was found that the combination of trapping and detrapping contributed to the enhancement of the projected lifetime. The results from the polarity dependence studies showed that the substrate injection exhibited a shorter projected lifetime and worse soft breakdown behavior, compared to the gate injection. The origin of soft breakdown (first breakdown) was studied and the results suggested that the soft breakdown may be due to one layer breakdown in the bilayer structure (HfO2/SiO2: 4 nm/4 nm). Low Weibull slope was in part attributed to the lower barrier height of HfO2 at the interface layer. Interface layer optimization was conducted in terms of mobility, swing, and short channel effect using deep submicron MOSFET devices.

Die vorliegende Arbeit ist die erste Veroffentlichung Uber koreanische Kinder in der Bundesrepublik Deutschland. Der ursprUngliche Gedanke zu dieser Studie ergab sich vor eini gen Jahren durch einen Zufall. Im Jahre 1979 nahm ich an einem Familienseminar fUr koreanische Eltern in der Bundes republik teil, was mehr oder weniger aus Neugier geschah, um zu erfahren, was man dort macht. Als den Eltern bekannt wurde, dass ich Padagogik studiere, "bombardierten" sie mich geradezu mit Fragen Uber Erziehungsprobleme auslandischer Kinder. Die Eltern sagten, sie kennen niemanden, der ihnen bei der Losung ihrer Probleme behilflich sein konnte. Diese Problematik war mir bis dahin vollig unbekant, und ich war sehr Uberrascht, welche Probleme die koreanischen Eltern und die Kinder in der Bundesrepublik haben. Nach dieser Begegnung versuchte ich, mich der Problematik der "Gastarbeiterkinder" zu nahern. Dabei stellte ich fest, dass es eine FUlle von Literatur Uber die auslandischen Kinder aus den sogenannten Hauptanwerbelandern, insbesonders Uber die tUrkischen und griechischen Kinder, gibt, jedoch waren der gleichen Informationen Uber die koreanischen Kinder nicht vor handen. So fUhlte ich mich als Padagogin verpflichtet und her ausgefordert, mich diesem Gebiet anzunehmen. Ich wollte her ausfinden, welche Probleme diese Kinder haben, bzw. mit wel cher Problematik die Eltern konfrontiert sind."