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Vakuumbeschichtung - Band 3: Anlagenautomatisierung Mea- Und Analysentechnik (English, German, Hardcover)
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Vakuumbeschichtung - Band 3: Anlagenautomatisierung Mea- Und Analysentechnik (English, German, Hardcover)
Series: VDI-Buch
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1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.- 1.1
Vorbemerkungen.- 1.2 Steuerungssysteme.- 1.3 Materialfluss.- 1.3.1
Batch-Anlagen.- 1.3.2 Durchlauf-Anlagen (in-line-Anlagen).- 1.3.3
Cluster-Anlagen.- 1.3.4 Bandanlagen.- 1.4 Automatisierung von
Teilsystemen.- 1.4.1 Pumpsatz-Steuerungen.- 1.4.2 Druckregelungen.-
1.4.2.1 Druckregelung durch Saugvermoegen.- 1.4.2.2 Druckregelung
durch Gasfluss.- 1.4.3 Substrattransport.- 1.4.4
Substrattemperatur.- 1.4.4.1 Heizeinrichtungen.- 1.4.4.2 Messen und
Regeln der Substrattemperatur.- 1.4.5 Automatisierung von
Verdampfern.- 1.4.5.1 Widerstands-Verdampfer.- 1.4.5.2 Induktive
Verdampfer.- 1.4.5.3 Elektronenstrahl-Verdampfer.- 1.4.6
Automatisierung von Sputterprozessen.- 1.4.6.1
Gleichstrom-Sputtern.- 1.4.6.2 Hochfrequenz-Sputtern.- 1.4.6.3
Magnetfeld-Verstellung.- 1.4.6.4 Plasma-Erkennung.- 1.4.7
Schichtdicke und Rate.- 1.4.7.1 Schichtdickenregelung.- 1.4.7.2
Abschalt-Kriterien.- 1.4.7.3 Ratenregelung.- 1.4.8
Reaktivprozesse.- 1.5 Beispiele fur die Automatisierung von
Beschichtungsprozessen.- 1.5.1 Prozesssteuerung fur
Aufdampfanlagen.- 1.5.2 Prozesssteuerung fur
Sputter-Durchlauf-Anlagen.- 1.5.3 Automatisierung von CVD-Anlagen.-
2 Messungen an Dunnen Schichten wahrend des
Beschichtungsprozesses.- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch
Widerstandsmessung.- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung
und -Anregung.- 2.2.1 UEberblick.- 2.2.2 Ionensonde.- 2.2.3
Massenspektrometer.- 2.2.4 EIES.- 2.3 Schichtdicken und
Aufdampfratemessung mit Schwingquarz.- 2.3.1 Einleitung und
Ruckblick.- 2.3.1.1 Frequenz-Messmethode.- 2.3.1.2
Periodenzeit-Messmethode.- 2.3.1.3 Z-Match(R)-Verfahren.- 2.3.1.4
Zweifrequenz-oder Auto-Z-Match(R)-Verfahren.- 2.3.2
Sensor-Kennlinie (Massenempfindlichkeit).- 2.3.3 Grenzen der
Genauigkeit und des Verwendungsbereichs.- 2.3.3.1 Einfluss des
angewandten Verfahrens.- 2.3.3.2 Einfluss der Materialdichte.-
2.3.3.3 Schicht-Relaxation.- 2.3.3.4 Auswirkung intrinsischer
Schichtspannungen.- 2.3.3.5 Temperatureinfluss.- 2.3.3.5.1
Frequenz-Temperaturkennlinie des Quarzes.- 2.3.3.5.2
Frequenz-Temperaturkennlinie des vollstandigen Messkopfes.- 2.3.3.6
Auftreten und Ursachen von Frequenzsprungen.- 2.3.3.6.1
Grenzschicht Quarz-Elektrode.- 2.3.3.6.2 Kopplung mit Nebenmoden.-
2.3.3.7 Anzeige der Messquarz-Restverwendungsdauer.- 2.3.3.7.1
Warnung bei Erreichen einer bestimmten Frequenzanderung.- 2.3.3.7.2
Dampfungs-bzw. materialabhangige Anzeige der Restverwendungsdauer.-
2.3.4 Schlussfolgerung und Zusammenfassung.- 2.4 Optische
Messverfahren.- 2.4.1 Eilipsometer.- 2.4.2 Optische
Prozesstechnik.- 2.4.2.1 Vorbemerkungen.- 2.4.2.2 Systematik der
optischen Schichtdickenmessung.- 2.4.2.3 Monochromatische optische
Schichtdickenmessung.- 2.4.2.3.1
Triggerpunktabschaltung/Extremwertabschaltung.- 2.4.2.3.2
Fehlerkompensation der direkten Messmethode bei
Extremwertabschaltungen von ?/4-Schichtsystemen.- 2.4.2.3.3
Triggerpunktabschaltung mit On-Line-Korrektur.- 2.4.2.3.4 Probleme
bei der Umsetzung der monochromatischen Schichtdickenmessung in die
Praxis.- 2.4.2.3.5 Prozessfotometer fur die monochromatische
optische Schichtdickenmessung.- 2.4.2.4 Breitbandige optische
Schichtdickenmessung/ On-line-Nachoptimierung.- 2.4.3 Beispiele fur
die Berechnung und Realisierung von Systemen aus dunnen Schichten.-
2.4.3.1 Matrixmethode zur Berechnung optischer Schichtsysteme.-
2.4.3.2 Eigenschaften einer Einfachschicht.- 2.4.3.3 Symmetrische
Schichtsysteme.- 2.4.3.4 Schichtsysteme aus ?/4-und ?/2-Schichten.-
2.4.3.5 Rechnerunterstutzter Entwurf von Schichtsystemen.- 2.5
Schichtdickenbestimmung durch Wagung im Vakuum.- 2.6 Bestimmung der
Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Roentgenemission
und Roentgenfluoreszenz.- 2.7 Atomemissionsspektroskopie.- 3
Messungen an dunnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozess.-
3.1 Messung der thermischen Leitfahigkeit.- 3.1.1 Allgemeines.-
3.1.2 Experimentelle Bestimmung.- 3.2 Elektrische Leitfahigkeit.-
3.2.1 Definition.- 3.2.2 Bestimmungs
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