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Rutherford-Ruckstreu-Analysen mit Protonen (German, Paperback, 1980 ed.)
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Rutherford-Ruckstreu-Analysen mit Protonen (German, Paperback, 1980 ed.)
Series: Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen
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Die Rutherford-Ruckstreu-Analyse gehOErt heute zu den Standa-
verfahren in der Untersuchung VOn Oberflachenschichten. Ihre
Fahigkeit der Tiefenrnikroskopie mit einer Tiefenaufloesung von -
einigen 100 A wird vor allem zu Materialuntersuchungen in der
Halbleitertechnologie und der Kernenergietechnologie genutzt. Das
starke Interesse, das diese Methode gefunden hat, lasst es
wunschenswert erscheinen, diese deutschsprachige Beschreibung zu
veroeffentlichen. Obwohl hier speziell die Verwendbarkeit der
Ruckstreuung zu Analysezwecken bei kleinen Energien, wie sie von
Niederenergiebeschleunigern geliefert werden, unt- sucht wird,
wurde diese Arbeit so verfasst, dass sie auch als allgemeine
Einfuhrung in die Methode verstanden werden kann. Ihr liegt die
Diplomarbeit von Herrn A. Weller zugrunde, der den
elektrostatischen Analysator gebaut sowie das Spektrensimu-
lationsprogramm geschrieben hat (Institut fur Strahlen- und Ke-
physik, Bonn, 1979). - 3 - Zusammenfassung Die Methode der
Rutherford-Ruckstreuung (RBS) erlaubt es, quan- titative Analysen
dunner Folien und Oberflachenanalysen mit hoher Empfindlichkeit und
guter Genauigkeit durchzufuhren. Zusatzlich wird Information uber
die Elementverteilung in einer Probe in Abhangigkeit von der Tiefe
unter der Oberflache erhal- ten. Besonders diese Moeglichkeit der
Tiefenprofilmessung zeich- net die RBS vor anderen physikalischen
Analysemethoden aus.
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