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Elektrochemische Messungen an durch PVD-Verfahren erzeugten Oxidschichten - Untersuchungen zur Schichtherstellung und zur Messmethodik (German, Paperback)
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Elektrochemische Messungen an durch PVD-Verfahren erzeugten Oxidschichten - Untersuchungen zur Schichtherstellung und zur Messmethodik (German, Paperback)
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Diplomarbeit aus dem Jahr 1996 im Fachbereich Chemie -
Physikalische und Theoretische Chemie, Technische Universitat
Dortmund (Unbekannt), Sprache: Deutsch, Abstract: Inhaltsangabe:
Problemstellung: An der Darstellung dunner Schichten bestehend aus
(dotiertem) Zinn(IV)-Oxid besteht bereits seit drei Jahrzehnten ein
grosses Interesse, weil transparente, n-halbleitende Oberflachen
hergestellt werden konnen (TCO - transparent conductive oxides).
Reines, stochiometrisches Zinndioxid (SnO2) ist ein Isolator. Ziel
der Herstellungsverfahren ist es also, einerseits Schichten mit
geringem Sauerstoff-Unterschuss zu erzeugen (SnO2-?), die dann
Fehlstellen (z. B. Sauerstoffionenleerstellen) als
Elektronendonatoren enthalten. Andererseits kann die gewunschte
Leitfahigkeit durch Dotierung mit Fremdatomen wie z. B. Sb oder F
erreicht werden. W erden Schichten mit Sauerstoff-Defizit in
Gegenwart von O2 (z. B. in Luft) uber etwa 600 K erhitzt, werden
die o. g. Donatoren durch Oxidation (Einbau von Sauerstoff in die
Schicht, z. B. auf Sauerstoffionenleerstellen) vernichtet.
Dahingegen sind z. B. Storstellen durch eingebautes Sb(V) bis uber
1 100 K stabil. Zur Herstellung dunner TCO-Schichten stehen
physikalische wie chemische Verfahren zur Verfugung. In dieser
Arbeit wird auf die Physical-Vapor-Deposition eingegangen werden.
Die meisten Arbeiten, die sich mit dieser Thematik befassen,
behandeln die Optimierung von Betriebsparametern bezuglich der
optischen Transparenz und elektrischen Leitfahigkeit. TCOs wurden
beispielsweise in der Rohrenindustrie angewandt, werden bei der
Dunnschichtsolar-Technologie eingesetzt und zur Herstellung nicht
vereisender Windschutzscheiben verwendet. Ein mit Zinndioxid
beschichteter Glastrager kann in der analytischen Chemie fur
elektrochemischen Untersuchungsmethoden wie Potentiometrie,
Amperometrie und Coulometrie, bei denen Redoxvorgange ablaufen, als
Indikatorelektrode dienen. Eine solche Elektrode ist sensitiv fur
Mn04-, Ce4+, Cr2O72-, S2O32-, Ti3+,
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