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Quantitative Bestimmung der Sekundarionenausbeuten sauerstoffbedeckter Metalle (German, Paperback, 1978 ed.)
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Quantitative Bestimmung der Sekundarionenausbeuten sauerstoffbedeckter Metalle (German, Paperback, 1978 ed.)
Series: Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen, 2784
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Die physikalischen und chemischen Eigenschaften einer Fest-
koerperoberflache werden von ihrer Zusammensetzung im Bereich der
obersten Atomlagen bestimmt. Eine moeglichst genaue Kennt- nis der
chemischen Zusammensetzung der Festkoerperoberflache ist
Voraussetzung fur das Verstandnis vieler technisch wich- tiger
Bereiche wie z. B. Katalyse, Korrosion und Dunnschicht- technik.
Ein Verfahren zur Oberflachenanalyse, das eine um- fassende
Information uber diese Eigenschaften liefert, sollte daher folgende
Forderungen erfullen: 1. Anwendbarkeit auf beliebige Proben 2.
Informationstiefe im Bereich einer Monolage 3. Nachweis von
Elementen und Verbindungen 4. Trennung von Isotopen 5. Hohe
Empfindlichkeit 6. Hohes Aufloesungsvermoegen 7. Keine
Diskriminierung bestimmter Komponenten 8. Keine Beinflussung der
Oberflache durch den Analysenvorgang selbst Kein Verfahren zur
Oberflachenanalyse kann alle diese Forderunger erfullen. Im
Vergleich zu anderen Verfahren wie z. B. der Auger-
Elektronen-Spektroskopie (AES) (1), der Photoelektronen-Spektros-
kopie (ESCA) (2,3) oder der Ionenruckstreuung (ISS) (4) besitzt die
Sekundarionen-Massenspektrometrie (SIMS) (5-8) jedoch folgende
Vorteile: 1. Direkter Nachweis von chemischen Verbindungen, 2.
Nachweis von Wasserstoff und seinen Verbindungen, 3. Trennung von
Isotopen, 4. Hohe Empfindlichkeit fur viele Elemente und
Verbindungen. Damit ist das SIMS-Verfahren insbesondere zur
Untersuchung von monomolekularen Oberflachenschichten und
Oberflachenreaktionen sowie zur Spurenanalyse geeignet. Ein
wichtiger Nachteil des - 2 - Verfahrens ist jedoch die fur die
einzelnen Elemente und Verbindungen um Groessenordnungen
verschiedene Nachweis- empfindlichkeit, die zudem nicht nur von dem
betreffenden Element bzw. der Verbindung selbst, sondern auch von
dessen Umgebung, der "Matrix", abhangt.
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