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Oberflachen- Und Dunnschicht-Technologie (German, Paperback)
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Oberflachen- Und Dunnschicht-Technologie (German, Paperback)
Series: WFT Werkstoff-Forschung Und -Technik
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Dieses Buch ist der erste Teil einer auf zwei Bande angelegten
Monographie, die in der Absicht entstand, den Fachleuten, die in
der Forschung oder Industrie auf den Gebie- ten der
Werkstoffoberflachen und der diinnen Schichten tatig sind, sowie
den Studie- renden eine EinfUhrung in die Grundlagen und eine
Ubersicht iiber die vieifaltigen Anwendungen und Verfahren der
Oberflachen- und Diinnschichttechnologie zu ge- ben. Diese Arbeit
beruht auf einer langjahrigen Tatigkeit des Verfassers auf dies em
Gebiet sowohl in der Industrie als auch an der Hochschule. In ihrem
praktischen Einsatz haben technische Oberflachen und diinne
Schichten eine Vielzahl von Funktionen zu erftillen. Um nur einige
Beispiele zu nennen: in der Optik als reflexionsmindemde,
reflexionserhohende oder absorbierende Schichten; in der
Elektrotechnik als Kontakte, Widerstande und Kondensatoren; in der
Mikroelek- tronik als Metallisierungs-und Passivierungsschichten
fUr hochintegrierte Schaltkreise und Halbleiter-Bauelemente; femer
beim Aufbau von Systemen der integrierten Op- tik, der
Optoelektronik, der Kryoelektronik, der Energietechnik und der
biomedizini- schen Technik. In der chemischen Verfahrenstechnik und
im Maschinenbau werden funktionelle diinne Schichten als Schutz
gegen VerschleiB, Korrosion und Hochtem- peraturoxidation, aber
auch als reibungsarme Schichten, Katalysatorschichten und de-
korative Schichten verwendet. Die volkswirtschaftliche Bedeutung
der Oberflachen-und Diinnschicht-Technologie ist in den
Industrielandem in den letzten J ahren aus folgenden Grunden
erheblich ge- stiegen: - Viele Hochtechnologie-Anwendungen, an
denen mikroelektronische, optische, op- toelektronische,
magnetische oder kryoelektronische Bauelemente beteiligt sind, wur-
den durch die vielfach einzigartigen physikalischen und chemischen
Eigenschaften diinner Schichten iiberhaupt erst moglich.
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