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Oberflachen- Und Dunnschicht-Technologie - Teil II: Oberflachenmodifikation Durch Teilchen Und Quanten (German, Paperback, 1991 ed.)
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Oberflachen- Und Dunnschicht-Technologie - Teil II: Oberflachenmodifikation Durch Teilchen Und Quanten (German, Paperback, 1991 ed.)
Series: Wft Werkstoff-Forschung Und -Technik, 6
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Ein bedeutender Trend in der Materialwissenschaft ist der
zunehmende Einsatz von Methoden, durch die die Zusammensetzung und
die Mikrostruktur im oberfHichen- nahen Bereich der Bauteile in
kontrollierter Weise modifiziert werden. Dabei handelt es sich urn
Methoden, die auf der Anwendung von Laserstrahlen, Ionen- strahlen,
Elektronenstrahlen, Plasmatechniken, UV- und Synchrotronstrahlung
beruhen, also von energiereichen Teilchen und Quanten Gebrauch
machen, urn Eigenschaften und Strukturen der OberfHichen und
Randschichten von Festkarpern zu verandern. Diese Methoden stellen
neue Techniken dar, die im wesentlichen im letzten lahrzehnt
entwickelt und in die Fertigung eingefuhrt wurden. Zahlreiche
Beispiele hierftir kommen aus so unterschiedlichen Gebieten wie
Tribologie der Metalle, Katalyse, Halbleiter, Polymere und
Kunststoffe, umfassen also aIle Klas- sen von Werkstoffen und
reichen mit ihren Anwendungen vom Maschinenbau tiber die chemische
Verfahrenstechnik, die Formteilefertigung, die Elektroindustrie bis
hin zur Mikroelektronik, Optoelektronik und Mikromechanik. Urn nur
einige Beispiele zu nennen: Bei Metallen kannen Harte, VerschleiB-
und Korrosionsfestigkeit durch Laser- strahlverfahren und
Ionenimplantation betrachtlich erhaht werden, da sich auf diese
Weise Randschichten mit Zusammensetzungen und Mikrostrukturen
fernab vom thermodynamischen Gleichgewicht erzeugen lassen.
Gegentiber den durch Be- schichtung hergestellten
Vergtitungsschichten, tiber die im Teil I dieser zweibandi- gen
Monographie (Band 5 der WFT -Reihe) berichtet wurde, zeichnen sich
modifi- zierte Randschichten dadurch aus, daB neuartige
Zusammensetzungen und Mikro- strukturen auf einem WerkstUck erzeugt
werden kannen, wie sie mit herkammli- chen Verfahren nicht
herstellbar sind. AuBerdem treten Probleme der Adhasion bei
modifizierten Randschichten nicht auf. .
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